Wolframové naprašovací terče

Wolframové naprašovací terče

Wolframové naprašovací terče hrají klíčovou roli v různých moderních technologických aplikacích. Tyto terče jsou nezbytnou součástí procesu naprašování, který je široce používán v průmyslových odvětvích, jako je elektronika, polovodiče a optika.

Vlastnosti wolframu z něj dělají ideální volbu pro naprašovací terče. Wolfram je známý pro svůj vysoký bod tání, vynikající tepelnou vodivost a nízký tlak par. Tyto vlastnosti mu umožňují odolávat vysokým teplotám a ostřelování energetickými částicemi během procesu naprašování bez významné degradace.

V elektronickém průmyslu se wolframové rozprašovací terče používají k nanášení tenkých vrstev na substráty pro výrobu integrovaných obvodů a mikroelektronických zařízení. Přesné řízení procesu naprašování zajišťuje rovnoměrnost a kvalitu nanesených filmů, což je rozhodující pro výkon a spolehlivost elektronických součástek.

Například při výrobě plochých displejů přispívají tenké wolframové filmy nanášené pomocí naprašovacích terčů k vodivosti a funkčnosti zobrazovacích panelů.

V polovodičovém sektoru se wolfram používá k vytváření propojení a bariérových vrstev. Schopnost nanášet tenké a konformní wolframové filmy pomáhá snižovat elektrický odpor a zvyšovat celkový výkon zařízení.

Optické aplikace také těží z wolframových naprašovacích terčů. Wolframové povlaky mohou zlepšit odrazivost a trvanlivost optických součástí, jako jsou zrcadla a čočky.

Kvalita a čistota wolframových naprašovacích terčů jsou nanejvýš důležité. I malé nečistoty mohou ovlivnit vlastnosti a výkon uložených filmů. Výrobci používají přísná opatření kontroly kvality, aby zajistili, že cíle splňují náročné požadavky různých aplikací.

Wolframové naprašovací terče jsou nepostradatelné při rozvoji moderních technologií, které umožňují vytváření vysoce kvalitních tenkých vrstev, které pohánějí vývoj elektroniky, polovodičů a optiky. Jejich neustálé zlepšování a inovace budou nepochybně hrát významnou roli při utváření budoucnosti těchto odvětví.

Různé typy wolframových naprašovacích terčů a jejich aplikace

Existuje několik typů wolframových naprašovacích terčů, z nichž každý má své jedinečné vlastnosti a použití.

Čisté wolframové naprašovací terče: Jsou složeny z čistého wolframu a často se používají v aplikacích, kde je zásadní vysoký bod tání, vynikající tepelná vodivost a nízký tlak par. Běžně se používají v polovodičovém průmyslu pro ukládání wolframových filmů pro propojení a bariérové ​​vrstvy. Například při výrobě mikroprocesorů naprašování čistého wolframu pomáhá vytvářet spolehlivá elektrická spojení.

Naprašovací terče z legovaného wolframu: Tyto terče obsahují wolfram kombinovaný s dalšími prvky, jako je nikl, kobalt nebo chrom. Legované wolframové terče se používají, když jsou potřeba specifické vlastnosti materiálu. Příkladem je letecký průmysl, kde lze legovaný wolframový rozprašovací terč použít k vytvoření povlaků na součástech turbíny pro zvýšení tepelné odolnosti a odolnosti proti opotřebení.

Naprašovací terče z oxidu wolframu: Používají se v aplikacích, kde jsou vyžadovány oxidové filmy. Využití nacházejí při výrobě transparentních vodivých oxidů pro dotykové displeje a solární články. Oxidová vrstva pomáhá zlepšit elektrickou vodivost a optické vlastnosti konečného produktu.

Kompozitní wolframové naprašovací terče: Ty se skládají z wolframu kombinovaného s jinými materiály v kompozitní struktuře. Používají se v případech, kdy je požadována kombinace vlastností obou složek. Například při potahování lékařských zařízení může být kompozitní wolframový terč použit k vytvoření biokompatibilního a odolného potahu.

Volba typu wolframového naprašovacího terče závisí na specifických požadavcích aplikace, včetně požadovaných vlastností filmu, materiálu substrátu a podmínek zpracování.

Aplikace wolframového cíle
Široce se používá v plochých displejích, solárních článcích, integrovaných obvodech, automobilovém skle, mikroelektronice, paměti, rentgenových trubicích, lékařských zařízeních, tavicích zařízeních a dalších produktech.

Velikosti wolframových terčů:
Cíl disku:
Průměr: 10 mm až 360 mm
Tloušťka: 1 mm až 10 mm

Rovinný cíl
Šířka: 20 mm až 600 mm
Délka: 20 mm až 2000 mm
Tloušťka: 1 mm až 10 mm

Rotační terč
Vnější průměr: 20 mm až 400 mm
Tloušťka stěny: 1 mm až 30 mm
Délka: 100 mm až 3000 mm

Specifikace wolframového naprašovacího terče:
Vzhled: stříbrný bílý kovový lesk
Čistota: W≥99,95 %
Hustota: více než 19,1 g/cm3
Stav dodávky: Povrchové leštění, CNC strojní zpracování
Standard kvality: ASTM B760-86, GB 3875-83